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用表面来提高微波氧等离子体的密度
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职称材料
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作者
拾灵
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第10期18-19,共2页
关键词
微波氧等离子体
密度
表面波
等离子体源
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
TL629.1 [核科学技术—核技术及应用]
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1
甘德昌.
微波氧等离子体的光学发射谱和SiO2薄膜的制备[J]
.等离子体应用技术快报,1997(8):12-13.
2
邢文娟,汪建华,王传新,皮华滨,余学超.
氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响[J]
.人工晶体学报,2008,37(3):689-693.
等离子体应用技术快报
2000年 第10期
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