磷杂质分布优化方法的研究

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摘要以优化磷在硅中杂质分布的工艺方案为研究对象,通过扩散机理分析和实验研究的方法,对影响磷杂质分布型的关键因子进行理论探讨与实验验证。研究结果表明:硅中电子浓度与荷电空位是影响磷杂质分布的主要因子,通过扩散工艺调节实现了低表面浓度、浅结的杂质分布,为提高晶硅电池的转化效率和批量生产提供了可能。

作者董鹏屈小勇张治宋志成

机构地区中电投西安太阳能电力有限公司

出处《太阳能》 2014年第3期31-33,共3页 Solar Energy

关键词晶硅电池磷杂质扩散杂质浓度分布发射极

参考文献8

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太阳能

2014年第3期

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