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SilexMicrosystems公司参与PROMINENT项目

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摘要 SilexMicrosystems公司参与了ENIAC的PROMINENT项目,研发用于晶圆与晶圆键合、压电MEMS制造和其他功能材料加工的低成本新技术,如晶片通孔、高气密性真空封装和材料沉积等。
出处 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第4期272-272,共1页 Micronanoelectronic Technology
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