铂薄膜热敏电阻

技术开发单位 中国电子科技集团公司第四十九研究所 技术简介 该铂薄膜热敏电阻器采用物化性能稳定且耐高低温的铂材料作为敏感材料，利用平面薄膜技术在陶瓷基片表面沉积铂薄膜敏感层，并利用等离子刻蚀技术加工形成具有优良性能的铂薄膜热敏电阻。