尘埃粒子计数器校准系统的建立及其技术要点

一、前言 尘埃粒子计数器是粒度分析仪的一种．用于对洁净环境（如微电子车间的洁净厂房、医院的洁净手术间等）中的尘埃粒子的粒径分布及粒子数目进行检测。