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精密运动台主动减振与重力补偿技术的研究被引量：1

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摘要基板运动台是平板显示扫描光刻机最关键的分系统之一，其精度和稳定性直接影响光刻机的产率、Overlay和成像质量。与IC前道光刻机的硅片台相比，基板运动台具有运动行程更大、扫描速度更快、负载更大、电动机驱动反力更大的特点，

作者廖飞红李小平邵新宇

机构地区华中科技大学

出处《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期153-153,共1页 Journal of Mechanical Engineering

关键词运动行程补偿技术主动减振 OVERLAY 重力扫描速度光刻机平板显示

分类号 TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]

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机械工程学报

2014年第7期

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