一种双向保护管电路的研制

保护管电路是一种抗静电保护电路。采用多晶硅磷掺杂工艺，有效抑制了因多晶硅厚度减少引起的多晶硅电阻的调试问题，解决了保护管电路工艺中多晶硅掺杂的技术难点；通过优化退火工艺成功优化了保护二极管的击穿电压，研制出合格的双向双路保护管。