砂浆密度对多晶硅锭剖方尺寸的影响

在多晶硅锭剖方过程中,砂浆有着极其重要的作用,不同的砂浆密度会直接影响剖方后的小方棒尺寸、表面平整度。在设定砂浆温度、砂浆流量及设备工艺参数为恒量的情况下,通过实验得出了多晶硅锭剖方的最佳砂浆密度,从而为加工出高质量的小方棒,提高成品率提供了参考。