摘要
Silicon -on -insulator(SOI)集成光电子器件的工艺与标准CMOS工艺完全兼容 ,采用SOI技术可以实现低成本的整片集成光电子回路。文章回顾了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展。
Silicon-on-insulator (SOI) is an attractive platform for fabrication of optoelectronic devices. A very thin SiO 2 film in SOI optoelectronic device makes the processing of this structure highly compatible with standard silicon CMOS technology. This technology is attractive for highly integrated optoelectronic circuits with low cost. The paper reviews recent developments in SOI based optoelectronic devices.
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期7-11,共5页
Semiconductor Optoelectronics
基金
国家自然科学基金!资助项目 (6 9896 2 6 0
6 9990 5 40 )
