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新型大容量涡轮分子真空泵
The New Turbine Molecular Vacuum Pump with Large Capacity
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摘要
Edwards Limited是一家全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商,该公司推出了其STP-iXA4506大容量涡轮分子泵(TMP).这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池板制造商节省更多成本.
出处
《办公自动化(综合月刊)》
2014年第4期19-19,共1页
Office Informatization
关键词
涡轮分子泵
大容量
分子真空泵
增值服务提供商
尾气处理系统
太阳能电池板
平板显示器
真空设备
分类号
TN929.5 [电子电信—通信与信息系统]
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1
Edwards新型大容量涡轮分子真空泵最大化提升性能[J]
.电子工业专用设备,2014,43(2):69-70.
2
EDWARDS将在2014SEMICON^R CHINA展会上展示世界领先的真空设备和尾气处理系统[J]
.半导体技术,2014,39(4):315-315.
3
EDW ARDS发布用于LED和化合物半导体制造的新型真空泵[J]
.塑料制造,2012(9):60-60.
4
EDWARDS宣布达到尾气处理系统安装里程碑[J]
.塑料制造,2012(10):54-54.
5
Edwards在SEMICON China2012展会上展示先进真空技术[J]
.半导体技术,2012,37(4):327-327.
6
张德明.
电真空设备上几种特殊金属材料锻造[J]
.四川真空,1990(3):20-23.
7
李晓峰.
CVD工艺尾气处理系统[J]
.微电子学,1995,25(3):35-39.
8
Edwards成为450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的创始成员[J]
.半导体技术,2013,38(8):640-640.
9
王颖佩,Allister Watson,汤杰,Kirel Tang.
用于平板显示制造中的真空设备——BOC Edwards特有的模块组合系统[J]
.电子工业专用设备,2006,35(12):68-69.
10
刘林森.
移动通信 “指尖”上的未来[J]
.上海信息化,2010(3):82-84.
办公自动化(综合月刊)
2014年 第4期
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