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陶氏电子材料推出IKONIC 4000新CMP研磨垫

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摘要陶氏化学公司旗下的陶氏电子材料事业群，日前推出了IKONIC4000系列的化学机械研磨（CMP）垫产品，该系列研磨垫初期将主要面向铈基应用。

机构地区陶氏电子

出处《中国集成电路》 2014年第5期8-8,共1页 China lntegrated Circuit

关键词化学机械研磨电子材料 CMP 陶氏化学公司

分类号 TN305.2 [电子电信—物理电子学]

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中国集成电路

2014年第5期

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