摘要
介绍了一种基于法布里-珀罗干涉原理的EFPI光纤压力传感器。详细分析了这种光纤压力传感器的原理、结构和解调方法;讨论分析了材料、结构以及制作工艺对零点稳定性的影响;探讨了传感器内部热应力的分布以及消除方法。该结构传感器在经历-40℃和400℃的严酷温度考验后,零点漂移小于3 nm。
This paper introduced a type of EFPI fiber pressure sensor based on Fabry-Perot interferometer. It is concerned on the sensor＇s principle,structure,demodulation,facture methods,etc. The sensor＇s stability of zero drift is below 3 nm after experiencing-40 ℃ thermal test and 400 ℃ thermal test.
出处
《计测技术》
2014年第2期6-10,共5页
Metrology & Measurement Technology
基金
中航工业技术创新基金项目(2009F30472)
