电子显微镜真空系统常见故障及对策被引量：3

Common Technical Hitches in the Vacuum System of Electron Microscope and the Way of Dealing with

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摘要真空度的高低 ,直接影响成像质量。 The degree of vacuum in electron microscope directly affects the quality of the image formation.The common technical hitches and the method of removal are introduced.

作者朱宇

机构地区内蒙古大学实验测试中心

出处《内蒙古大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期234-235,共2页 Journal of Inner Mongolia University：Natural Science Edition

关键词真空系统故障电子显微镜真空度排除方法真空检漏镜筒 electron microscope vacuum system hitch

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

引文网络
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2001年第2期

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