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离子束辅助沉积的基本原理：Ⅱ.离子和蒸发物通量的绝对校准

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作者 Hubl.,GK 唐源

出处《国外核聚变与等离子体应用》 1991年第5期79-90,共12页

关键词沉积薄膜等离子体应用

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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国外核聚变与等离子体应用

1991年第5期

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