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超精密激光测长系统

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摘要为了确定超精密载物台的位置,机床的校正用激光测长系统的应用正在迅速地扩大.过去在日本激光测长系统的市场由 HP 公司的产品独占,近年来情况有所改变。佳能公司自1988年起销售美国 Zygo 公司生产的

作者铃木淑之吴风

出处《国外计量》 1991年第4期5-9,共5页

关键词测长装置激光干涉仪

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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国外计量

1991年第4期

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