GaAs晶体缺陷与外延层缺陷显示研究

Ga As衬底与外延层质量 ,尤其是晶体的完整性严重影响着以其为材料的半导体器件的性能 ,而超声 AB腐蚀法是一种能准确快速的显示 Ga As体缺陷与器件外延层缺陷的检测法。本文提供了超声 AB腐蚀法显示 Ga As体缺陷与外延层缺陷的实例照片与工艺条件 ,并对其进行了分类 。