扩散硅压阻传感技术的研究现状与发展趋势

扩散硅固态压阻传感器广泛应用于航空航天等军事和民用工业中 ,而它的压阻应变传感元件主要是用压阻效应制成的 ,并具有优于其他传感元件的特点。本文详细论述了扩散硅压阻传感器的发展过程及我国的研究现状 ,并展望了其未来向即小型化、数字化、智能化。