国产MEMS器件性能突破

微机电系统MEMS是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。2014松山湖中国IC创新高峰论坛推广了多款新型MEMS产品,从各角度展示了中国创造在应用和性能等方面的突破。