高重复频率脉冲激光辐照下反射镜热变形及其对光束质量的影响

该文采用斐索干涉仪实时测量了波长532 nm,重复频率10 kHz高功率固体激光辐照下镀高反膜反射镜表面热变形,研究了电子束蒸发技术制备的反射镜的热变形情况,使用光学软件模拟研究了反射镜热变形对光束质量的影响。结果表明反射镜热变形与激光功率呈线性关系;不同批次或同一批次的反射镜热变形量具有较大的差异;在激光功率150 W时,最大热变形量达到1.7μm,Strehl比降到0.209。