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介绍一种高分辨俄歇能谱仪
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摘要
一、前言最近美国珀金埃尔默公司物理电子部(简称φ公司)推出一种用于高分辨俄歇分析的最新型能谱仪PHI670,作者仅就该仪器的特点作一简要评述。 PHI670是继场发射扫描电镜和场发射透射电镜之后。
作者
马腾
机构地区
北京钢铁研究总院
出处
《国外科学仪器》
1991年第2期26-27,共2页
关键词
高分辨
俄歇能谱仪
分类号
TH838.2 [机械工程—精密仪器及机械]
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