多晶硅材料及其生产工艺研究现状与趋势

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摘要本文介绍了多晶硅材料,综述了制备改良西门子法、冶金法和流态化工艺制备多晶硅,并对这几种方法进行了比较分析。

作者郑继忠孙宾宾

机构地区陕西国防工业职业技术学院

出处《科技与企业》 2014年第12期334-334,共1页 Science-Technology Enterprise

关键词多晶硅改良西门子法冶金法流态化工艺

参考文献2

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2014年第12期

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