第三届上银优秀机械博士论文摘要选登

基板运动台是TFT光刻机最关键的分系统之一，其运动性能直接影响光刻机的产率和成像质量。与IC前道光刻机的硅片台相比，基板运动台具有运动行程大、驱动质量大、电机驱动反力大的特点，这些因素都给基板台的减振和运动控制带来了巨大的挑战。本论文面向基板运动台的性能需求，研究了从基板运动台的全局主动减振技术、微动台的局部减振技术。