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W—Ti二元合金阴极溅靶的开发及溅射特性的研究

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作者 Yamau.,M 杨钰
出处 《国外稀有金属》 1991年第3期37-43,共7页
关键词 W-Ti合金 阴极溅射靶 溅射特性
分类号 TF125.241 [冶金工程—粉末冶金]
国外稀有金属
1991年 第3期

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