一种采用聚酰亚胺封装的半导体膜触觉敏感器

导言长期以来,开发一种满足敏感器的物理系统所需的并以手指为模型的触觉敏感器一直难以实现。人们研制了有效的作用力敏感器,却无法研制出触觉敏感器。目前,许多商品化敏感器在不同程度上加以改造可用来感知触觉,虽其属性适合于作为触觉敏感器。然而其外部封装仍不适合。比如说一个硅膜压力敏感器,它的许多特性使得它非常适合于感受触觉。