燃烧火焰法合成金刚石薄膜

本文给出了利用氧一乙炔燃烧火焰在Si(111)衬底上高速率（-80um/h)生长金刚石薄膜的方法，对合成的金刚石薄膜进行了扫描电子显微镜、Raman光谱和X-光衍射分析，并对其结果进行了简要的讨论。实验研究表明这种方法是可行的，且设备简单，成本低廉。