套控溅射类金刚石碳膜在可见光及近红外光区域的光学性质

磁控溅射类金刚石碳膜在可见光及近红外光区域具有良好的透过特性，光学吸收边大约位于0.2-0.3um左右、与天然金刚石的光吸收边位置（0.22um)大致相符，碳膜在λ=632.8nm时的折射率n=1.56-2.22，随溅射功率的增加，氩压的降低，靶距的减小而升高。应用薄膜光学原理从测量的透、反射谱数据直接计算了碳膜吸收系数a的色色散，以及光隙带宽度（Optical BandGap)。结果表明碳膜吸收系数随溅射功率的增加耐 产加，而光隙带宽度随溅射功率的增加而降低，且满足线性的依从关系。