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套控溅射类金刚石碳膜在可见光及近红外光区域的光学性质
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摘要
磁控溅射类金刚石碳膜在可见光及近红外光区域具有良好的透过特性,光学吸收边大约位于0.2-0.3um左右、与天然金刚石的光吸收边位置(0.22um)大致相符,碳膜在λ=632.8nm时的折射率n=1.56-2.22,随溅射功率的增加,氩压的降低,靶距的减小而升高。应用薄膜光学原理从测量的透、反射谱数据直接计算了碳膜吸收系数a的色色散,以及光隙带宽度(Optical BandGap)。结果表明碳膜吸收系数随溅射功率的增加耐 产加,而光隙带宽度随溅射功率的增加而降低,且满足线性的依从关系。
作者
吕反修
杨金旗
等
机构地区
北京科技大学
出处
《薄膜科学与技术》
1991年第4期19-26,共8页
关键词
可见光
类金刚石碳膜
近红外光
光学性质
磁控溅射
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
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吕反修,杨金旗,杨保雄,叶锐曾.
磁控溅射类金刚石碳膜的显微硬度[J]
.北京科技大学学报,1991,13(6):548-553.
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刘声雷,毛友德.
DLC膜改善扬声器性能的研究[J]
.电声技术,1994,18(1):15-16.
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王和照.
类金刚石碳膜的制备及其应用[J]
.新技术新工艺,1990(5):2-3.
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王维洁,才勇,王天民.
电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用[J]
.微细加工技术,1993(4):13-22.
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毛友德,刘声雷,杨国伟.
类金刚石薄膜的结构和红外光学性能研究[J]
.红外与激光技术,1992,21(6):28-31.
7
电气和电子工程用材料科学[J]
.中国无线电电子学文摘,2002,0(2):5-9.
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类金刚石碳膜的结构和机械性质[J]
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薄膜科学与技术
1991年 第4期
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