微机电系统加速商品化进程

微机电系统(MEMS)在1950年代随半导体的发展而兴起,但商品化的过程比集成电路慢一些,因为要使价格降低至可与传统的产品相比需要花费相当时间,提高可靠性也是至关重要的质量控制内容。从统计资料表1给出的主要MEMS商品化时间表可知,压力传感器、加速度传感器和喷管是完全商品化并且占领一定市场的产品,相当大部分MEMS产品还处于降低成本和扩展应用范围的阶段。由于汽车业的需要。