德国的“微系统技术”间接专项资助措施

微系统技术是芯片制造技术高度发展下的产物。由于硅的抗拉强度和弹性与钢类似,而且更轻,更耐高温、耐腐蚀,于是人们利用微电子技术中成熟的光刻技术,在标准硅片上刻制出微型机械(电机、齿轮、泵、阀门等)、微型(压力、加速度等)传感器、微型机械手、微型激光器等等。