摘要
介绍了集成微透镜阵列光学器件 ,建立了开孔式离子扩散的数学模型 ,并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数 。
The high-technology optical device of ion-exchanged microlens arrays is described. The mathematical model of the ion diffusion for aperture-mask is established and the solution is found. And a planar integrated microlens array is produced,Finally, the results are given and discussed them.
出处
《浙江工业大学学报》
CAS
2001年第1期51-55,共5页
Journal of Zhejiang University of Technology
基金
浙江省自然科学基金项目 !(6 990 0 2 )
