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光外差干涉相位检测技术
被引量:
5
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摘要
本文介绍了光外差干涉技术中最为关键的相位精密检测技术,简介了相位软件取值法,提出了硬件取值法的思想和电路原理图,最后的实验结果表明,其相位检测精度优于/1000。
作者
尤政
机构地区
清华大学精仪系
出处
《计量技术》
1995年第5期2-3,6,共3页
Measurement Technique
关键词
光外差干涉
相位检测
硬件取值法
干涉技术
分类号
TH744.306 [机械工程—光学工程]
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计量技术
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