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硅基微机械微波传输线的制备与特性分析 被引量：1

Fabrication and characteristic of Si-micromachined transmission line
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摘要 介绍了三种硅基微机械微波传输线：矩形波导、Ｖ型槽及Ｗ型槽共平面波导，及其三种传输线的制备工艺流程。分析认为，制备方法不同，导致传输线结构、特性阻抗、插入损耗等特性亦不同。 Three kinds of implementation of Si-micromachined transmission line are described in this paper, such as rectangular waveguide,V-typed FGC and W-typed FGC. With different fabricating process, each transmission line has different structure, and the insertion loss and operating frequency range are also different.
作者 石艳玲 杨震 赖宗声
机构地区 华东师范大学电子科学技术系
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期50-52,56,共4页 Semiconductor Technology
基金 国家自然科学基金(69876012) 高等学校博士点专项科研基金(510.3030) 上海应用材料研究与发展基金项目(980
关键词 微机械工艺技术 矩形波导 共平面波导 插入损耗 硅基 微波传输性 micromachined technology rectangular waveguide coplanar waveguide insertion loss
分类号 TN811 [电子电信—信息与通信工程]
  • 相关文献

参考文献2

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  • 2鲍家善，微波原理，1985年

同被引文献21

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引证文献1

二级引证文献1

半导体技术
2001年 第4期

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