摘要
离子注入技术已被应用于气敏材料的开发研究，这是离子注入技术的一个较新的应用领域。本文介绍离子注入技术对气敏材料表面层组分、结构、电导率及气敏特性进行改性的研究进展。
Ion implantation has been applied to the research and development of gas sensitive materials. This is a new application tield of ion implantation fechnique.In this paper we introduce the researches on ion implantation.modification of surface layer composition, construction, conductivity and gas sensitive characterization of gas sensitive materials.
出处
《微细加工技术》
1996年第4期5-8,共4页
Microfabrication Technology
基金
"863"计划资助
