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金刚石薄膜的分层生长

GRADATIONAL GROWTH OF DIAMOND THIN FILMS
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摘要 采用热丝化学气相沉积生长出优异的金刚石薄膜。研究了薄膜的分层生长过程,薄膜的层状结构及膜厚随沉积时间的变化特性。 High quality diamond thin films were grown by hot-filament chemical vapor deposition. The gradational growth and layer by layer structure of diamond thin films, and the relationship between the thickness of films and the deposition timewere studied.
出处 《微细加工技术》 1996年第4期67-70,共4页 Microfabrication Technology
关键词 化学气相沉积 金刚石薄膜 分层生长 Chemical vapor deposition diamond thin films gradational growth layer by layer structure
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参考文献1

  • 1王秀琼,陈本敬,李华,刘松元.甲烷-氢混合气相生长金刚石薄膜[J]物理,1987(10).
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