提高膜厚监控精度的一种途径被引量：2

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摘要提高膜厚监控精度的一种途径刘志宏，朱丹，朱自强（成都中国测试技术研究院无损检测室）（成都电子科技大学光纤通信国家重点实验室）（四川大学光电科学技术系）０引言在光学薄膜的制备过程中，通常用光电转换器件将透过监控片的单色调制光强信号线性地转换成电信号。随...

作者刘志宏朱丹朱自强

机构地区成都中国测试技术研究院无损检测室

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第1期99-102,共4页 Chinese Journal of Scientific Instrument

关键词光学薄膜制备光电转换器监控

参考文献2

1张诚,卢维强,王涌天,郝群.光学薄膜在线宽光谱膜厚控制仪[J].仪器仪表学报,2003,24(z1):85-87. 被引量：5
2李少梅,罗崇泰,熊玉卿,刘定权,黄良甫,王多书.10.4μm～12.5μm带通滤光片的设计[J].真空与低温,1999,5(3):171-174. 被引量：9
3丁雪成,冯震宇,吴丽颖,单允章.现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现[J].电子测量与仪器学报,2008,22(S2):322-325. 被引量：2
4刘梦夏,强西林.光学薄膜膜系设计方法及发展趋势[J].西安工业学院学报,2000,20(3):194-199. 被引量：12
5许世军.薄膜厚度测控技术中的物理原理[J].物理与工程,2001,11(2):38-41. 被引量：6
6钱绍生.望远镜红膜物镜色度设计与检验初探[J].应用光学,1998,19(6):29-33. 被引量：2
7张晓晖,陈清明,朱伟民,汤炜,杨光.一种提高极值法监控精度的方法[J].激光技术,2001,25(5):386-390. 被引量：8
8常天海.遗传算法在窄带滤光片膜系设计中的应用[J].真空与低温,2002,8(4):225-229. 被引量：5

仪器仪表学报

1995年第1期

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