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国内外单晶硅工业现状

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摘要 硅(Si)单晶作为现代信息的关键性支撑材料,可以说是目前世界上最重要的材料,在60年代开始批量生产以来,年均增长率为12%-16%,目前每年使用Si单晶5000-6000t,其中80%以上是直接Si(CZ)片。
出处 《硅铝化合物》 2001年第1期2-3,共2页
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