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溅射离子泵阴极的分析研究
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摘要
对一在10^(-5)Pa 真空下连续抽空气15000h 以上的溅射离子泵 Ti 阴极,测量了表面几何“起伏”,分析了剖面金相照片,并用 X 光衍射、XPS、AES 进进了分析研究。结已表明,表层 Ti 原子几乎全部与 N 结合生成 TiN;整块材料内有部份 Ti 的氢化物生成,并且阴极表面约6%的区域提供了约80%的溅射量。
作者
蓝增瑞
出处
《真空与低温》
1990年第1期1-5,共5页
Vacuum and Cryogenics
关键词
X光衍射分析
真空泵
阴极
溅射离子泵
阳极材料
放电表面
XPS分析
分类号
TB752 [一般工业技术—真空技术]
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