期刊文献+

溅射离子泵阴极的分析研究 被引量:1

下载PDF
导出
摘要 对一在10^(-5)Pa 真空下连续抽空气15000h 以上的溅射离子泵 Ti 阴极,测量了表面几何“起伏”,分析了剖面金相照片,并用 X 光衍射、XPS、AES 进进了分析研究。结已表明,表层 Ti 原子几乎全部与 N 结合生成 TiN;整块材料内有部份 Ti 的氢化物生成,并且阴极表面约6%的区域提供了约80%的溅射量。
作者 蓝增瑞
出处 《真空与低温》 1990年第1期1-5,共5页 Vacuum and Cryogenics
  • 引文网络
  • 相关文献

同被引文献14

引证文献1

;
使用帮助 返回顶部