离子注入法深度剖面定标和注入层组份的定量 AES 分析

俄歇电子谱(AES)是进行薄膜和表面薄层化学成份微观分析的主要手段之一。提出了一种对离子注入样品进行深度剖面分析时的深度定标方法——离子注入深度定标法。用此方法计算的离子注入投影射程与 LSS 理论值一致。考虑了注入层中注入元素浓度梯度的存在,提出了修正浓度梯度和基体效应的方法,改善了深度剖面定量分析的精度。