覆氧条件下金属表面二次离子质谱定量分析研究

以金属表面覆氧时二次离子发射实验为基础建立半理论模型,对二次离子质谱定量分析进行了研究。注意到金属元素的正离子产额随氧压升高而增加,而电负性高的元素离子信号有上升更多的趋努,完善了“结合 LTE——断键”思想。并认为断键方式形成正、负二次离子的数目不仅与表面生成了多少氧化物有关,而且与氧化物键的结合强度有关。如果将氧化物断键形成离子的过程看成是“元素原子电离能改变了的电离过程”,并将表面氧化物数目及氧化物键强两个因素都与元素的电负性建立一定关系,从而推导出表面覆氧时二次离子产额的理论关系式,其中包含覆氧量及元素电负性的因素。所介绍的定量分析方法适用于较宽的实验条件,可获得较好的结果。