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IGBT的寄生晶闸管发射结分流电阻

Emitter Shunting Resistance of Parasitic Thyristor in IGBT
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摘要 为了设计具有最小寄生晶闸管发射结分流电阻Rp的大电流IGBT,针对圆形、方形、条形等发射极图形设计.建立了Rp的计算公式模型,并据此讨论了在各种图形设计中的Rp与p阱高浓度深层扩散的结深和表面杂质的关系,以及图形及其尺寸对Rp大小的影响. Abstract Designing high current IGBT with minimum emitter shunting resistance of parasitic thyristor, we have established models of shunting resistance for different cell geometries. The function relationships between the shunting resistance and the junction depth and the surface concentration of p+-deep-diffusion in the p-well are discussed based on the models. The effects of cell geomitry and cell size on shunting resustance are investigated as well.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期276-281,共6页 半导体学报(英文版)
关键词 IGBT 寄生晶闸管 发射结 分流电阻 晶闸管 Electric resistance Semiconductor devices Switching
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