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24项传感器攻关项目通过技术鉴定 被引量:2

The Developing Sensing Technology
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摘要 本文从微电子机械系统、工业过程自动控制、新的功能材料及传感器集成化、小型化等方面着重阐述了国际传感器技术的发展趋势,对今后我国传感器技术的发展有指导意义。 This paper elaborates the development trends of sensing technology in the world today by analyzing such techniques or applications as micro electro mechanical systems,industrial automatic control, new functional materials, and integration and miniaturization of sensors, which will act as a valuable guide for the development of sensing technology in China.
作者 赵志诚
出处 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1995年第1期1-7,共7页 Instrument Technique and Sensor
关键词 微机械 功能材料 传感器 集成化传感器 MEMS,Functional Material, Integration, Sensor
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