具有n缓冲层和新的阳极短路结构的6000V GTO

研制出用于大功率逆变器和斩波器的6000V GTO，为了获得高的阻断电压，且同时具有低的开通和关断损耗，采用了n缓冲层和圆柱型阳极短路结构相结合的方法。通过n缓冲层结构所实现的550umn基区宽度可使开通损耗比普通阳极短路结构的减少约1／3，所提出的这种结构可有效地扫除关断瞬间剩余载流子，而不使通态电压增加太多，直径33mm的器件可以在90Hz工作上连续开关200A阳极平均电流，提出了P基区和n缓冲层同步扩散工艺，并用该工艺制作出新开发的器件结构。