半导体光电探测器

Semiconductor Photodetector

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摘要本文将介绍几种半导体光电探测器的研制工艺、器件特性及其应用举例。 Fabrication process of some kind semiconductor photodetectors are presented.Device characteristics and their applications are reviewed.

作者张佐兰孟江生陈卫东魏同立

机构地区东南大学微电子中心

出处《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1990年第1期54-60,共7页 Semiconductor Optoelectronics

关键词半导体器件光电探测器半导体工艺 Photodetector Process Characteristic

分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]

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半导体光电

1990年第1期

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