石英管铝杂质吸收效应的分析与研究

本文根据实验和样品的光谱分析、电子探针分析的结果,证明石英管对铝杂质具有很强的吸收效应,是导致铝蒸汽压低和硅片表面扩铝浓度小的主要原因之一,并介绍了相应措施。