用硼铝二氧化硅乳胶源制造快速晶闸管

使用硼铝二氧化硅乳胶源制出500A，1600V快速晶闸管，其主要参数di/dt≥300A／us，du/dt≥500V/us，本文介绍了该器件的结构特点，理论设计及关键工艺。