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光学镀膜系统采用先进技术
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职称材料
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作者
顾聚兴
出处
《红外》
CAS
1991年第1期34-35,共2页
Infrared
关键词
光学镀膜系统
镀膜
溅射
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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1
伊恩.史蒂文森,弗兰克.泽蒙,戴尔.莫顿,冯学丽.
镀膜工艺与镀膜系统配置[J]
.真空科学与技术,2003,23(6):443-448.
被引量:3
红外
1991年 第1期
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