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正压漏孔校准装置的设计 被引量:3

Design of Pressure Leak Calibration Apparatus
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摘要 正压漏孔校准装置是一种校准气体漏率的计量标准设备 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔校准 ,校准范围为 10 2~ 5× 10 - 5 Pa· L /s。该文介绍正压漏孔校准装置的校准原理 ,设计方法 ,参数选取。 The pressure leak calibration apparatus is a kind of a metrology standard for gas leak rate.The pressure leak can be calibrated with the constant volume method and the dynamic comparison method of quantitative gas.The calibration range is from 10 2 to 5×10 -5 Pa·L/s .The calibration principle,the design method and the parameters selection for the pressure leak calibration apparatus are introduced.
机构地区 兰州物理研究所
出处 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2001年第1期57-65,共9页 Chinese Space Science and Technology
关键词 气体 泄漏 设计 正压漏孔校准装置 航天产品 正压检漏 Calibration Equipment Gas Leak rate Design
  • 相关文献

参考文献3

  • 1Li Wangkui,Vacuum,1996年,47卷,519~522页
  • 2Zhang Dixin,Vacuum,1996年,47卷,515~517页
  • 3Mc Culloh K E,J Vac Sci Technol A,1987年,5卷,3期,376~381页

同被引文献19

引证文献3

二级引证文献13

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