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气相生长金刚石膜对衬底金刚石性能的影响 被引量:3

THE EFFECT OF DIAMOND FILMS GROWN FROM GAS PHASE ON PROPERTIES OF SUBSTRATE DIAMOND
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摘要 本文以高压合成金刚石为衬底材料,用热解CVD法在衬底金刚石表面生长了金刚石晶体。结果表明,生长金刚石后的衬底金刚石热性能有明显改善。 ' In the present paper, the high pressure diamond crystalline grain with perfect morphology, smooth crystal faces and 252 - 315 μm size are used as substrates. Diamonds have been formed on the substrate diamond by thermal CVD method from gases mixture of methane and hydrogen. The results show that the thermal property of the substrate diamond would be improved evidently after diamond films were deposited on the substrate.
出处 《高压物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1990年第1期36-41,共6页 Chinese Journal of High Pressure Physics
关键词 热解CVD法 金刚石 衬底 气相生长 金刚石膜 thermal CVD method, substrate, diamond.
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参考文献1

  • 1--清泉

同被引文献2

引证文献3

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