溅射装置
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3Ni81Fe19层厚对Ni81Fe19／Fe50Co50磁性和微结构影响[J].金属功能材料,2013,20(4):55-55.
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4薄膜沉积速度可调的溅射装置[J].金属功能材料,2011,18(3):49-49.
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10王小平,刘援,李文祥,袁冠森,古宏伟,王晓华,刘安生.大面积YBCO超导薄膜沉积工艺[J].稀有金属,1998,22(6):457-459.
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