在不同氮分压下用dc反应性粒子磁控油射法制备TiN膜
-
1周小兵.用不同方法得到的氮化钛膜的成份和化学性能[J].等离子体应用技术快报,1996(1):15-16.
-
2汪建华,邬钦崇,任兆杏.微波ECR等离子体溅射沉积TiN薄膜的研究[J].武汉化工学院学报,1997,19(1):81-83.
-
3吕俊霞,马月英,裴舒,曹健林.C/Al软X射线多层膜反射镜[J].中国激光,1999,26(9):808-810.
-
4雒向东.不同N_2气流量下反应溅射TiN薄膜的表面形貌[J].半导体光电,2008,29(6):924-927. 被引量：1
-
5任春生,牟宗信,刘振民,龙振湖,杨黎明.多束动态混合注入技术制备TiN厚膜的工艺、结构及性能研究[J].核技术,2000,23(10):678-682. 被引量：1
-
6欣欣.对PⅢ处理的氧化铌膜和氮化钛膜的硬度研究[J].等离子体应用技术快报,1997(10):14-16.
-
7李成明,张勇,曹尔妍.多弧离子镀TiN和(TiZrCr)N膜中宏观颗粒的SEM分析[J].电子显微学报,2000,19(4):565-566. 被引量：4
-
8张泰华,刘东旭,郇勇,王秀兰.基体对氮化钛膜的微力学和摩擦性能的影响[J].中国表面工程,2003,16(4):23-26. 被引量：2
-
9肖志刚,林东生,张宏,关颖,叶锡生.等离子体渗氮与氮化钛膜沉积一体化工艺对膜基结合力的影响[J].强激光与粒子束,2002,14(1):77-80. 被引量：2
-
10张庆瑜.氮化钛薄膜的高分辨AES谱和XPS谱研究[J].真空科学与技术,1996,16(1):29-35.
