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低温容器的氦质谱检漏

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摘要 分析了大、小型低温容器的氦质谱检漏的各自特点及应注意的问题 。
作者 张楠 张宏
机构地区 黑龙江大学电子工程学院 哈尔滨石油化工厂
出处 《信息技术》 2001年第4期5-6,共2页 Information Technology
关键词 氦质谱检漏 低温容器 整体氦罩法 局部罩擢法 逆扩散检漏
分类号 TH843 [机械工程—精密仪器及机械]
  • 相关文献
信息技术
2001年 第4期

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